Especificaciones de embalaje
Tipo de cilindro | Contenido | |
Capacidad | Válvula | Peso |
47L | DISS632 | 12KG |
440L | DISS632 | 120 kg |
SiH electrónico4 99,9999%
Especificación | 99,9999% |
CO | ≤ 0,05 ppm |
CO2 | ≤ 0,05 ppm |
cloro total | ≤ 0,1 ppm |
CH4 | ≤ 0,05 ppm |
C2-C4 | ≤ 0,1 ppm |
N2 | ≤ 0,5 ppm |
O2 | ≤ 0,05 ppm |
Humedad | ≤ 0,1 ppm |
Éter sililico | ≤ 0,1 ppm |
Metilsilano | ≤ 0,1 ppm |
Disilano | ≤ 0,3 ppm |
H2 | ≤ 20 ppm |
Alabama | ≤ 0,02 ppba |
sb | ≤ 0,02 ppba |
Como | ≤ 0,02 ppba |
Georgia | ≤ 0,02 ppba |
B | ≤ 0,02 ppba |
P | ≤ 0,02 ppba |
Fe+Cr+Ni+Cu+Zn | ≤ 1 ppba |