SiH4

Capacidad

Válvula

Peso

47L

DISS632

12KG

440L

DISS632

120 kg

CO

≤ 0,05 ppm

CO₂

≤ 0,05 ppm

cloro total

≤ 0,1 ppm

CH₄

≤ 0,05 ppm

C2-C4

≤ 0,1 ppm

N₂

≤ 0,5 ppm

O₂

≤ 0,05 ppm

Humedad

≤ 0,1 ppm

Éter sililico

≤ 0,1 ppm

Metilsilano

≤ 0,1 ppm

Disilano

≤ 0,3 ppm

H₂

≤ 20 ppm

Alabama

≤ 0,02 ppba

sb

≤ 0,02 ppba

Como

≤ 0,02 ppba

Georgia

≤ 0,02 ppba

B

≤ 0,02 ppba

P

≤ 0,02 ppba

Fe+Cr+Ni+Cu+Zn

≤ 1 ppba